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上海岩濑IWASE—KELK为半导体行业提供超高品质的加热装置

  KELK 是****的��导体制造温度控制设备制造商,在用于温度控制的热电模块(珀尔帖元件)方面,KELK 参与了从材料到模块、热交换器和应用设备的开发、制造和销售。基于独特的热电元件技术,自1966年成立以来,KELK 一直秉承“制造温度,用温度制造温度 ”的使命,为不同客户提供各种产品。

  CS 加热器(Clean & Sate Heater)是一种紧凑型在线加热器,用于高温加热半导体制造工艺中用于清洗、抗蚀剂剥离等的各种果液。 所有润湿部件均由高纯度石英玻璃制成,加热器使用高输出卤素灯发出的近红外辐射,是一种无需担心杂质污染的高效加热系统。


  CS加热器特点有:

  • 清洁。加热系统采用卤素灯辐射加热系统,润湿部分采用高纯度透明石英双层结构,加热系统温度较低,可*大限度地减少玻璃成分的洗脱,不会因加热器傍边破损而产生化学污染的风险。
  • **性。警报功能确保**。 结合专用控制器,可提供各种**功能和**特性、
  • 结构紧凑。设计紧凑,易于集成到湿站等设备中。
  • 加热效率高。加热效率高达 90% 以上,实现了节能运行,能源损耗极少。
  • 加热器更换方便。加热器(卤素灯)可从一个方向轻松更换,无需拆卸系统管道。
  • 出色的控制和操作性。通过 PID 控制实现高精度温度控制,各种操作和报告都集中在控制器的前面板上,并标配外部馈入功能,用户可根据系统配置选择使用控制器。
  CS加热器用途:
  • LSI 制造过程中高温加工液的加热控制。扩散前清洗液(氨周水、盐酸渗透液)/氮化膜去除液(磷酸)/抗蚀剂剥离液(硫酸周水)。
  • 其他领域各种化学溶液的加热控制。镀金、前处理溶液、清洗溶液等电镀溶液

  今后,KELK将继续结合小松集团的集体力量,作为热电元件和应用产品的综合制造商,以及负责精密温度控制的值得信赖的专业团体,以先进的技术满足日益复杂的客户需求。