MICROSTONE微石是利用测量人的动作和机械振动的运动传感器技术的产品开发、制造、销售制造商。 总部设在自然环境丰富的长野县佐久市，从开发用于测量机械振动并检测异常的传感器和软件开始，到测量人的动作并有助于预防跌倒风险的系统，进行了多方面的发展。
Microstone微石测振仪面向半导体晶片生产中使用的多关节机器人的振动监视、开发、质量管理的事例介绍
生产半导体晶片离不开使用多关节机器人的生产。
在这种情况下，机器人搬运时对产品造成的异常冲击会导致产品质量劣化，因此是一个很大的课题。
因此，Microston“3轴加速度传感器MA3系列”可以检测到发生异常冲击，因此有组装在机器人中使用的例子。
“3轴加速度传感器MA3系列”根据模拟电压的变化输出x、y、z方向的加速度。 可以将输出读入PLC，设置阈值进行判定。
根据判定结果通知异常，根据情况也可以停止设备。
“3轴加速度传感器MA3系列”有通用型和高频型两种，可根据产生的加速度的频带进行选择。
此外，还可根据产生的加速度的大小选择测量范围。
加工金属零件的时候，有使用用于输送材料的电动机的地方。
如果对电机或旋转轴施加过度的力或振动，故障的频率会上升。
为了改善这些问题，在维护活动的预兆管理中，使用了里程碑产品进行了振动测量。通过监视进行预兆管理。
使用产品：
分析软件MVP-VCS-S +8通道小型无线运动记录器MVP-RF8-JC+3轴加速度传感器引线型MA3系列
将传感器传感器和记录仪测量的数据保存存储到计算机中。
按设定的时间自动检查“振动数据自动分析软件MVP-VCS-S”积累的数据。
检查时，运算RMS值或MAX值，并以图表形式显示结果。
只需收集测量数据，即可自动计算出作为指标的数值，因此可以确认机器的情况和经过。
如果将振动测量引入维护活动的征兆管理中，就可以用数值进行判断。
可以客观地实施维护工作的实施判断。