测量显微镜的测量可以是单轴的、维度平面的测量也可以是维度空间坐标的测量衡量的时候先专注，拿分，再算罚分。读数来源于标尺，即光栅系统，调焦和准直依赖于光学系统，还有一个照明光源，它单纯影响测量效果和精度，因为如果基于图像技能测量的仪器不能有效正确照明，测量结果就会明显偏离其真实尺寸。除上述因素外，情境前提也是限制测量精度的一个不可忽视的因素。
基于以上分析，我们可以综合以下误差来源：
光栅计数尺的误差；
工作台移动时的直线度、角摆带来的误差；
工作台两个测量轴垂直度误差；
显微镜光轴与工作台不垂直引起的误差；
由于测量的室温与校准所需的参考温度存在偏差而导致的误差；
光源照明前提变化引起的聚焦和对准误差。
在这些因素中，前段所说的误差是硬件误差，在仪器生产过程中已经形成并固定下来，无法改变，必须通过控制测量室的温度和等温过程来减小温度影响引起的误差。后一个术语经常被忽略在实际测量中，当光源的照明前提发生变化时，被测工件的照明效果和图像质量都会受到影响重要原因是测量显微镜的图像是通过CCD绘制的，虽然CCD有自动调节增益的作用，但当亮度过高时，它未能起到调节作用，导致被测工件的图像缩小，而当亮度过低时，工件的图像变大。
在测量具有重复图案的布局之间的距离时，只要在整个测量过程中照明前提保持不变，就可以忽略这种影响，因为每个重复的图案布局同时变大或变小，距离的测量简单地忽略了图像变形的影响，例如测量一个玻璃尺、网格板刻线间距;除了这种特殊情况，比如测量圆的直径、工件的长度和宽度都会带来明显的误差。
用图像测量工件样图的几何尺寸时，光照前提的变化会简单地测量图像的测量尺寸，比如线宽、圆直径等几何位置都是次要的，因为得到的边界点就是产品需求检验的边界在高精度测量中，这是导致测量不确定度增加的一个环节因素，应该引起足够的重视。