NHK与日本触媒为实现可弯曲显示器，开发出了元件构造与正常元件相反的OLED元件“iOLED（Inverted Organic Light-Emitting Diode）”。iOLED的电子注入层（EIL）材料通过采用自主开发的材料，比普通构造的OLED元件提高了发光效率。而且还确认了iOLED对氧气 和水分的耐受性远远高于普通构造的OLED元件的特性。

我们正在研发薄型、轻量、可弯曲的柔性显示器（图1）。如果能推进这类显示器的技术开发，就可以实现随时随地观看高画质影像信息的移动电 视，而且，将来家中有望导入可获得身临其境般的高临场感的超大屏幕电视。因为产品轻量可弯曲，容易搬进房间内。实现柔性显示器的关键技术是耐氧耐水的有机 EL元件，我们在全球率先展开了研究开发。

图1：计划实现柔性显示器   如果能实现柔性显示器，影像内容的视听方式将发生变化。小型显示器将可以自由搬运，100英寸级的大屏幕显示器也有望导入家庭。通过提高耐氧、耐水的OLED元件“iOLED”的性能，采用塑料基板的柔性显示器有望延长寿命。

劣化的主因是碱金属   （耐氧耐水的有机发光二极管元件  iOLED）

      有机发光二极管（Organic Light Emitting Diode：OLED）或OLED元件是层积了非常薄的有机膜的自发光型元件，有望实现超薄型显示器，可以说是*适合柔性显示器的显示技术。近年来，采用 OLED元件的柔性显示器研究取得了一些显著进展，2013年5月举行的国际会议“2013 SID International Symposium, Seminar & Exhibition”（SID 2013）上， 也报告了326ppi（pixel per inch）等精细度非常高的显示器，以及*大尺寸为14.7英寸左右的显示器。

以往的普通OLED元件（普通OLED）先在基板上形成透明阳极——ITO膜（Indium Tin Oxide：氧化铟锡），然后在其上成膜空穴运输层（HTL）、发光层、电子运输层（ETL）等多种有机层，*后形成电子注入层（EIL）和阴极（图 2（a））。通过从外部为元件加载电压，从阴极注入电子，从阳极注入空穴，在发光层复合。通过复合激发有机分子，从而发光。

图2：普通OLED与iOLED的积层构造差异   普通OLED是把在基板上成膜的ITO用作阳极（a），而iOLED将其用作阴极（b）。

普通OLED采用的EIL和阴极材料是碱金属（锂、铯、钡）以及铝等功函数低、空气活性高的材料，因此在大气中受到氧气和水分的影响后，阴极部会发生氧化等，从而导致劣化。所以，采用普通OLED的产品，需要用玻璃和粘合剂进行密封。

这是造成OLED显示器和OLED照明器具成本高的因素之一，也是实现柔性显示器和照明器具的一大障碍。

高品位阻挡层课题多多  （耐氧耐水的有机发光二极管元件  iOLED）

      NHK放送技术研究所以前利用普通OLED试制了柔性OLED显示器（图3）。如截面构造所示，各像素由像素选择用晶体管（Sw TFT）、像素驱动用晶体管（Dr TFT）以及普通OLED构成。基板和封装膜采用Poly-Ethylene Naphthalate（PEN）薄膜，为保护显示器内的普通OLED电子注入层和阴极不受大气中的水分和氧气影响，还形成了阻挡层。

图3：柔性OLED显示器容易劣化   NHK技研试制的5英寸柔性OLED显示器及其截面构造。采用柔性塑料基板时，很难完全阻挡住大气中的氧气和水分浸入。受氧气和水分的影响，柔性OLED显示器会发生劣化。

普通OLED需要实施水蒸气透过率和氧气透过率都差不多为10-6g/m2/day级别的密封。此次虽未评价阻挡层的阻隔性能，但经过较长时间后，在大气中存放的显示器出现不发光的部分，观测到了大幅劣化的现象（图3）。估计这是因为试制的显示器缺乏足够的阻隔性的缘故。

还有报告显示，有的阻挡层具备水蒸气透过率高达10-6g/m2/day左右的高阻隔性，不过大多是采用窒化硅（SiN）等硬材料时，而在薄膜上形成阻挡层时，弯曲耐性则不明确。能否在大面积基板上形成均匀且高品位的阻挡层等也不得而知。因此，采用PEN等柔性基板的柔性显示器的长寿命化是实用化面临的*重要课题。

ITO从阳极改到阴极

作为解决该课题的对策之一，近年来不使用任何碱金属等高活性材料的“逆构造OLED（inverted OLED：iOLED）”受到了较大的关注。iOLED的电极积层构造与普通OLED相反（图2（b））。例如，从基板方向提取光的底部发光型iOLED 是把在基板上成膜的ITO作为阴极使用，在ITO上形成EIL膜。然后在上面依次层积发光层等有机层。

采用这种构造的OLED元件有望延长显示器显示部的寿命。原因在于，底部发光型iOLED通过把ITO用作阴极，与阴极采用铝等的普通OLED相比，大幅提高了阴极的大气稳定性。

另外，如果其上层积的EIL能使用惰性材料，就可以实现耐氧和耐水的OLED元件。这个优点在柔性OLED显示器中尤其大。因为可以减少使用高阻隔性硬封装材料的必要性。

与n型TFT组合使用，动作稳定

采用iOLED还有一个很大的优点。那就是提高了采用n型TFT的有源矩阵（AM）型显示器的驱动稳定性。*近，TFT采用InGaZnO TFT的情况越来越多。InGaZnO TFT为n型，与iOLED非常匹配。

在普通的“双晶体管＋单电容器（2T＋1C）构造”以及采用底部发光型OLED元件的AM型显示器中，连接OLED元件的电极在普通OLED和iOLED之间是不同的（图4（a））。比如，普通OLED在阳极，而iOLED在阴极连接Dr TFT。

图4：普通OLED和iOLED在驱动电路中的连接位置发生变化   （a）为显示器的截面构造，（b）为显示部采用普通OLED的驱动电路模式图，（c）为显示部采用iOLED的驱动电路模式图。

因此，TFT采用InGaZnO等n型TFT的话，驱动电路中的OLED元件的位置在普通OLED和iOLED间也各不相同（图4（b～c））6）。普通OLED配置在n型TFT的接地侧，iOLED配置在栅极线侧。

流经OLED元件的电流以Dr TFT源极电极和栅极电极间加载的电压（VGS）为基准。首先来看InGaZnO TFT＋普通OLED的情况（图4（b））。接地与Dr TFT源极电极间的OLED元件的驱动电压在驱动的同时缓慢上升，因此Dr TFT的电位基准——源极电极的电位也受其影响发生变化，Dr TFT的VGS下降，流经OLED元件的电流减少。结果有报告显示，从OLED元件获得的亮度降低，造成烧毁等现象。

而InGaZnO TFT＋iOLED因源极电极充分接地，驱动OLED元件后VGS也不会发生变化（图4（c））。因此，流经OLED元件的电流能保持稳定，不会发生烧毁现象。

iOLED的研究中*大的课题是，开发合适的EIL材料。把ITO作为透明阴极使用时，一般来说从ITO向有机层直接注入电子非常困难。这 是因为，ITO功函数的值与接收有机层电子的能级——*低未占轨道（LUMO）之间的能差较大。ITO的功函数约为5eV，而普通OLED元件用电子运输 材料的LUMO能量约为3eV，因此表面存在约2eV的电子注入势垒。

普通OLED是从ITO向HTL注入空穴，这种情况下，接收HTL空穴的能级——*高占有轨道（HOMO）的能量约为5.5eV的材料较多，与ITO功函数的能差较小。

如上所述，要想从ITO高效向有机层直接注入电子，需要合适的EIL。为寻找这种EIL材料，我们准备了多种EIL材料，评测了iOLED 对各材料的特性差异。结果发现了适合iOLED的EIL材料，成功开发出了发光效率与普通OLED相同的iOLED。另外，对报告案例还比较少的 iOLED的大气稳定性也进行了评测。而且试制了采用iOLED的显示器。

特性随EIL变化

图5是改变EIL材料时的iOLED特性。采用EIL I～III的iOLED分别为iOLED-I～III。发光材料采用发红色光的磷光材料Ir（piq）3。

图5：iOLED的特性随着EIL的选择而变化   本图为采用三种EIL材料时的iOLED特性变化。（a）为亮度－电压特性，（b）为外部量子效率对亮度的依赖性。发光材料采用磷光材料Ir（piq）3，获得了15％左右的高外部量子效率。

从中可以看出，iOLED的特性因EIL的选择而大不相同。从特性来看，iOLED-I的*高亮度只有5cd/m2（图5（a））。可以说这是因为，采用 EIL I的话，很难从阴极ITO向有机层注入电子。而iOLED-III以低加载电压获得了高亮度，由此可见，采用EIL III促进了从ITO向有机层注入电子。

另外还可以看出，外部量子效率也因EIL的选择而大不相同（图5（b））。iOLED-I的外部量子效率还不到1％，而iOLED-II达到了约 11％，iOLED-III达到了约15％。有报告显示，发光材料采用Ir（piq）3的普通OLED的外部量子效率约为11％，因此，iOLED- III获得了普通OLED同等以上的发光效率。

经过250天也未出现劣化

      另外，我们还评测了普通OLED、iOLED-II和iOLED-III三种元件的耐氧性和耐水性。普通OLED的发光层采用普通的绿色萤光材料——三（8-羟基喹啉）铝（Alq3），EIL采用氟化锂（LiF），阴极采用铝。

我们利用玻璃框和阻挡膜把这些OLED元件封装在氮气（N2）中评测了其耐性（图6）。

图6：利用普通阻隔性能的薄膜封装元件   为观测发光面的劣化，采用阻挡膜进行封装的封装方法模式图。玻璃框与基板之间以及玻璃框与阻挡膜之间用紫外线硬化树脂粘接。大气中的水分和氧气有微量透过阻挡膜渗入，因此可观测对OLED元件造成的影响。

我们把封装的OLED元件放置在大气中，观测了发光面随时间的变化（图7）。制作OLED元件的基板与玻璃框之间，以及阻挡膜与玻璃框之间利用紫外线（UV）硬化树脂粘合。

图7：确认经过250天后也没有劣化的OLED元件   把普通OLED、iOLED-Ⅱ和iOLED-Ⅲ三种OLED元件放置在大气中，定期为元件加载电压，用显微镜观测发光面。

此次采用的阻挡膜的水蒸气透过率为10-4g/m2/day左右，这种程度的阻挡层可大面积均匀成膜。通过采用这种封装构造，能观测大气中微量的氧气和水分渗入OLED元件后，对元件劣化产生的影响。

先来看普通OLED的劣化，从第六天开始就明显观测到了被称为“暗斑”的黑点，约100天后，只有一半左右的面积发光了。暗斑的产生原因估计主要是氧气和水分造成了阴极劣化。

下面来看iOLED-II的结果，虽然劣化速度比普通OLED慢，但放置100多天后还是出现了明显的暗斑。而iOLED-III放置250多天也基本没出现劣化，现在仍在继续观测。

虽然一直说iOLED比普通OLED的耐氧性和耐水性强，但此前并未报告过这一点的验证结果。此次通过采用阻挡膜进行评测确认了这一点。不 过，并不是所有iOLED都不容易劣化，从iOLED-II的结果可以发现，其大气稳定性取决于电子注入材料的选择。此次通过采用EIL III，在获得高发光效率的同时，还确认了比较高的大气稳定性。可以说，EIL III等材料适合用于柔性显示器。

可制作显示器

此次开发的iOLED还可用于显示器。实际上，为验证此次的iOLED在显示器上的适用性，在采用InGaZnO TFT的背板上制作了iOLED，进行了视频显示（图8）。基板采用玻璃，画面尺寸为5英寸，像素为320×240像素（QVGA：红色单色），帧频为 60Hz。确认了画面整体的视频显示。亮度约为100cd/m2。虽然能看到线欠陷，不过这是因为布线短路。

图8：采用iOLED试制5英寸OLED显示器   在TFT采用n型半导体InGaZnO的背板上形成iOLED，试制了红色单色的显示器。

今后将挑战柔性化

综上所述，通过不使用对氧气和水分表现为活性的材料，实现了耐氧和耐水的OLED元件。此次，发现了适合阴极采用惰性电极ITO的 “iOLED”的EIL材料。优化后的磷光性iOLED的*大外部量子效率约为15％，获得了非常高的值。另外，利用阻挡膜评测大气稳定性后发现，普通 OLED约6天就观测到了劣化，而优化后的iOLED在相同条件下经过约250天仍未出现劣化。此外，还利用新开发的iOLED，试制了5英寸OLED显 示器，确认了在显示器上的适用性注1）。

注1） 本研究的一部分是作为日本总务省的委托研究“为实现**节电显示器而实施的高效率、长寿命OLED元件的研究开发”实施的。

此次利用玻璃基板验证了在显示器上的适用性，今后预定试制采用iOLED的柔性显示器。

 

耐氧耐水的有机发光二极管元件  iOLED