无尘室污染源运转管理维护保养 一、污染源控制
无尘室洁净度之维持和控制，除了硬设备之配合投资外，也需要良好的软件&mdash&mdash管理制度来搭配，方能维持良好的洁净度。无尘室内之微污染来源，经测试分析结果，作业人员占约80%，如图1所示。实验数据显示，作业人员进出无尘室时尘埃有显著增加，有人动作时，洁净度马上劣化，可见洁净度劣化之原因人是主要因素。
无尘室的污染源可分为外污染及内污染源。外污染源主要包括空调送风、间隙渗入、建筑物、工作服、风管材料以及一般性气体如N2、O2、Air、给水、溶剂等；而内污染源则包括制程设备、工作人员、工具、加工制程、隔间材料、工作桌、包装材料等，图2为微尘粒子的传送路径。
对硅芯片而言，微尘粒子之附着将造成集成电路线路的变形或短路，使芯片失去运作功能，因此微污染源的控制已成为无尘室管理的重要环节。表一为自然环境所测得的尘埃浓度，可为设计参考，而在微污染控制，其基本原则有四：
1.外部尘埃侵入之防止：
无尘室适当之正压保持（>0.5mmAq），做好施工工程之不漏气，人员设备、原材料搬入无尘室前先做好清洁擦拭等防尘动作，空气过滤器适当的管理和设置。
2.室内发尘之防止：
隔间板、地板等无尘室材料的适当选用、制程设备的发尘抑制、生产自动化及人员不聚集、动作放松、洁净衣的管理、使用无尘室专用器等。
3.室内发尘之不积留：
墙壁体应光滑无死角、无尘室需定期保养和清扫、制程设备四周应留有空间。
4.发生尘埃之排除：
换气次数应足够，适当的空间布置以及污染源接排气和空调的气流速度须适当。
人、物入室的管理问题、实际的作业条件和工程管理关联之问题、室内之空调及清扫关系之问题，这些问题将于下节祥述。 无尘室污染源运转管理维护保养 测量地点 | 微尘粒子数（个/ft³）&ge0.5µm |
大气层圈 | ≦100 |
田园地区（微风状态） | 100，000~300，000 |
住宅地区 | 100，000~200，000 |
办公室（工作中） | 200，000~400，000 |
工业区 | 400，000~1，000，000 |
正在吸烟的会议室 | 600，000~1，000，000 |
测量地点 | 微尘粒子数（个/ft³）&ge0.5µm |
大气层圈 | ≦100 |
田园地区（微风状态） | 100，000~300，000 |
住宅地区 | 100，000~200，000 |
办公室（工作中） | 200，000~400，000 |
工业区 | 400，000~1，000，000 |
正在吸烟的会议室 | 600，000~1，000，000 |
二、无尘室运转管理
无尘室运转管理，可依作业人员、原物料、设备及无尘室内所用东西等加以探讨，并依计划（planning）、实施（Doing）、追踪（Checking）、动作(Action)之PDCA循环步骤执行。
1.作业人员之管理
前以提及在无尘室内污染来源80%来自作业人员,因此若能使作业人员依无尘室管理，而所有人员也均能配合实施，则污染源的产生可说已减大半。现就进入无尘室的作业人员之管理和注意事项说明如下：
（1）进入无尘室之人员，必须要具备有达成高洁净度标准，并要维持*好状态之观念。
（2）作业人员进入无尘室数目以维持*小限度原则（愈少愈好），并须依无尘室进出标准流程进出无尘室，出则相反方向进行，唯不须经空气洗尘室之脱尘处理。
（3）对作业人员必须经常讲解无尘室管理之数据，并加以教育与训练，内容如无尘室管理之一般常识、无尘室之构造与功能、维护和清洁、**对策、搬运器材之洁净管理与检查、洁净衣之穿脱、无尘室内之步行方式等，并经考试合格者方能进入无尘室工作。
（4）在无尘室作业人员须经常保持自己各方面的干净与清洁。
（5）在无尘室内之作业人员或其它人员之移动或动作均为发尘源，其直接影响制程，同时亦会影响气流之扰动，为防止与控制上述情形，基本上须注下列事项：
a.不可在作业区域气流之上方放置物品或做其它作业。
b.不必要之动作尽量避免以防止乱流发尘。
c.与作业无关的私心谈话尽量避免。
d.为控制发尘量，人员步行及作业要静静地进行。表2所示为人体在不同动作时之发尘量。
e.作业要在洁净之工作柜或工作桌进行。
f.工具等器具须收入有盖子之箱子或柜中，并置放一定的场所。
（6）作业人员须经常保持干净之手，除了常洗手、剪指甲外，手并应保养，以防皮肤之剥离，男性须每天刮胡子。
（7）洁净衣要经常保持着衣之状态。
（8）下列所述者不能进入无尘室：
a.非作业人员或事先未得许可者。
b.未照规定穿着洁净衣者。
c.刚做激烈运动流汗者。
d.吸烟或吃东西后，尚未经过半小时以上者。很明显可看出吸烟者所生之微尘在初期约为非吸烟者的90倍，直至30分钟后才降至15倍，此为为何无尘室禁止吸烟人员和吸烟未满30分钟不准进入的原因所在。故针对在无尘室作业人员之招募，若能选择不吸烟者为对象，将可带来甚大利益。
| &ge0.3µm | &ge0.5µm |
一般工作服 | 无尘服 | 普通作业服 | 无尘服 |
白衣形 | 全覆形 | 白衣形 | 全覆形 |
站立（静姿） | 543，000 | 151，000 | 13，800 | 339，000 | 113，000 | 5，580 |
坐下（静姿） | 44，800 | 142，000 | 14，800 | 302，000 | 112，000 | 7，420 |
腕上下 | 4，450，000 | 463，000 | 49，000 | 2，980，000 | 298，000 | 18，600 |
上身前屈 | 3，920，000 | 770，000 | 39，200 | 2，240，000 | 538，000 | 24，200 |
腕的自由运动 | 3，470，000 | 572，000 | 52，100 | 2，240，000 | 298，000 | 20，600 |
头的上下运动 | 1，230，000 | 187，000 | 22，100 | 631，000 | 151，000 | 11，000 |
屈身 | 4，160，000 | 1，110，000 | 62，500 | 3，120，000 | 605，000 | 37，400 |
踏步 | 4，240，000 | 1，210，000 | 92，100 | 2，800，000 | 861，000 | 44，600 |
步行 | 5，360，000 | 1，290，000 | 157，000 | 2，920，000 | 1，010，000 | 56，000 |
（9）有下列健康状态或体质者原则上不能进入无尘室：
a.因日晒、湿诊而皮肤有问题者。
b.化学纤维或有机溶剂等化学药品有过敏性体质者。
c.容易出受汗者。
d.比一般人皮肤表皮容易剥离、头皮或体毛容易掉落者。
e.化妆或涂口红者。
f.有重��精神病、神经过敏或闭琐恐惧者。
g.因**、咳嗽或喷嚏者及不能安静工作者。
但对于有下列性格的人，则*适宜进入无尘室工作：
a.做事细心有耐性者。
b.勤于整理整顿，经常自己注意身边清洁的人。
c.经常留意自己之健康者。
10.以下之物品不能带进无尘室：
a)没有经过清洁过程之器材、零件物品、测定器等各种物品。
b)纸箱及未经特别处理之记录或笔记用纸、影印数据等。
c)铅笔、橡皮擦、墨水等。
d)香烟、化妆品、卫生纸、饮食品等。
e)作业员个人用品如打火机、宝石、装饰品、钱包、钥匙、手帕、小日记手册或其它个人物品等。
无尘室洁净度维持之*大控制对象为作业人员，因此对于作业人员之数目、行动状态、进出规则之制定与执行，提高无尘室内作业人之洁净度意识、反复教育，均为必须，表3所示为因作业人员之动作而产生污染的增加倍率。
