光阻剂质量保证与六标准差管理
半导体业界制程工程师常会发现:供货商保证质量正常的光阻剂,上线使用时却出现质量异常的现象;供货商提供的质量数据显示高度制程能力(highprocesscapability)的产品,却在使用端发现有偏高的**率,这些偶发的质量异常状况常造成制程工程师的困惑。
电子化学品中难度*高、*关键的就是光阻剂产品,在多元的市场竞争中,永光化学近年来已推出多种光阻剂产品,以高性能的产品、洁净的控管及稳定的质量等优异的特性,持续展现研发和生产团队的实力。永光公司并期望能够提供顾客比同业更完整的产品质量保证,经由建构且落实的6标准差管理质量管理系统,满足顾客迫切的需求、确实提供*稳定的产品质量。
永光化学光阻剂产品质量保证体系的实施特色如下:
高性能的产品特性
(一)质量机能展开(Quality FunctionDeployment;QFD)-经由与顾客互动,结合顾客在黄光微影、蚀刻等实际应用需求,作为研发及生产管制之质量要项,使质量规划满足顾客实际需求。
(二)产品导入实验计划(Design ofExperiment;DOE)-以选定的质量管理要项,于*短时间内推导出系列测试,掌握反应曲面以配制*符合顾客需求之产品。
(三)黄光微影试验设备验证-运用涂布、曝光、蚀刻、去除等制程验证,实施*适化及应用性测试。辅以软件仿真产品之应用效能(ProcessWindow),期更能掌握产品特性,确保产品使用效能,满足顾客需求。
洁净的制程控管
(一)洁净的环境监控-依据产品质量需求,规划不同的洁净等级,分别建立不同洁净等级无尘室,并持续监测环境微粒子、温湿度及金属微粒落尘,以保证生产及检测之环境洁净管制无虞。
(二)微量分析的建构与执行-现今电子化学产品质量规格需求在金属及阴阳离子、微粒子等微量分析之能力已趋近设备侦测极限。因应顾客持续质量提升期许,永光化学以降低检验GRR(Gaugerepeatability &reproducibility),提升量测系统可信度;并以重复性、回收率等质量数据管制,衡量并确认量测系统为稳定且可靠,以期**管制ppblevel洁净质量。
(三)实施量测系统分析MSA(Measurement SystemAnalysis)-依据产品需求,分别实施量测系统误差分析(Bias)、再现性分析(Repeatability)、再生性分析(Reproducibility)、并进行量测不确定性评估。
(四)建立可追溯的检验结果-购买具追溯性标准品、校正各种量具、重金属分析购置验证参考物质CRM(CertificatedReference Material)、显影液分析进行实验室比对,以提供有依循确认、且值得顾客信任的检验结果。
稳定的产品质量光阻剂质量保证与六标准差管理
(一)统计制程管制(Statistical ProcessControl;SPC)-QC工程图中,涵盖IQC、IPQC、OQC等所有生产过程;由各项检验结果,进行统计制程管制(SPC)。
(二)制程能力持续提升-由管制图之统计分析中发觉制程异常,经问题分析找出异常原因,立即采取改善措施,实施OCAP(Outof Control Action Plans),使制程恢复正常。并透过制程能力解析与标准化,不断提升制程能力。
(三)产品质量持续提升-制定各项核心流程关键质量指针(KeyPerformanceIndex;KPI),由KPI展开各阶质量提升计划,并持续追踪管制,以确定质量管理目标达成,藉以**持续改善。
(四)实施产品长效期保存分析-长期监控产品储存质量,建立安定性曲线,以保证效期内质量之正常,并以加速实验掌握环境变动之影响。光阻剂质量保证与六标准差管理
在竞争激烈的产业环境中,永光化学致力于掌握关键原材料、超洁净生产技术之开发及管理,以提升国内黄光关键化学品(光阻剂)核心技术为己任,经由多年扎实经营与辛勤付出,今日该公司已获得70余家顾客的信任与肯定。