400HZ进口韩国LS中空轴APM-HB03HBH-CD APM-HB03HBH-CD
产品简介
400HZ进口韩国LS中空轴APM-HB03HBH-CD,合肥辰越自动化工程有限公司 章先生 0551-62766629 15855142729 QQ406921064 400HZ进口韩国LS中空轴APM-HB03HBH-CD
产品详细信息
APM-HB03HBH-CD
400HZ进口韩国LS中空轴APM-HB03HBH-CD
中空轴伺服电机库存系列:
APM-HB03HBH-CD,APM-HB03HBH-SV、APM-HB03HBH-GY 、APM-HC03HCH、APM-HB01AAH 、APM-HB02AAH、APM-HB04AAH、APM-HC05HCH、APM-HC06HBH、APM-HE09ACH、、APM-HE15ACH、
伺服驱动器:
型号:APD-VSR5、APD-VS01、APD-VS02、APD-VS04、APD-VS05、APD-VS10、APD-VS15、APD-VS20、APD-VS35、APD-VS50、APD-VS75、APD-VS110、APD-VS150
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400HZ进口韩国LS中空轴APM-HB03HBH-CD
开发完成半导体设备8‘’及12‘’晶圆用 spinner电机适用于涂胶,显影及清洗工程
实现高效率瞬间加速特性-100.000rps以上
可根据客户的要求,定做各种SPinner电机
按照客户的要求提供多种中空轴
采用磁性流体密封,强化耐环境性
表面进行特殊涂布处理,强化耐腐蚀性
应用范围:
1,半导体制造工业
2,设备应用
A.曝光显影设备(涂胶,显影)光刻加工程序的主要设备及掌控涂层,曝光,显影。
B.清洗、蚀刻设备用于蚀刻,清洗,去膜设备。
C.清洗设备适用于物理冲洗清洁、颗粒清洗刷子、声控及喷雾工艺。
技术含量
设备条件
高转速(5000rpm~8000rpm)真空轴
加/减速时间冷却系统(水冷系统)
低噪音和振动*低公差
中空轴尺寸*小化处理按照客户需求柔性定制
采用重叠设计是尺寸*小化
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