单成分浓度计 FUD-1 Model-130
产品简介
FUJI-US富士工业 单成分浓度计 FUD-1 Model-130 该型号定位为 FUD-1 Model-13 的**型号,可满足客户对高精度和高稳定性测量的需求。
产品详细信息
单组分密度计的特点
130 型是注重测量浓度稳定性的概念机型
适用于对密度计方面的高精度和高稳定性要求较高的场合,如半导体制造工艺。
应用
CMP 工艺中的 CMP 浆料或氧化剂浓度控制等。
稀释过程中各种化学品(H2O2、TMAH、HNO3、H2SO4、HCl 等)的浓度控制
清洗过程中的清洗液浓度控制等(HF、NH4OH、KOH、IPA 等)
蚀刻过程中的蚀刻液浓度控制等(HF、H2SO4 等)
形式 |
FUD-1 Model-130 |
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测量参数 |
超音波伝播速度・温度 |
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表示 |
LCD(浓度、温度、声速/各种参数) |
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出力信号 |
模拟 4-20 mA DC(可任意设置浓度值) 数字 RS232C(浓度、温度、声速、错误代码) 报警 上下限 测量误差 |
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電源 |
AC100V~240V 50/60Hz両用 30VA (DC24Vも使用可能) |
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構造 |
面板安装型(DIN規格準拠) |
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機能 |
输出范围设定功能、警报输出设定功能、浓度显示移动平均值功能、浓度显示偏移和增益设定功能、自诊断功能、故障**功能、异常值取消功能 |
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选项 |
温度出力 (DC4~20mA) |
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通道 |
*大10Ch |
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电缆 |
6m |
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接液部材質 |
PFA 涂层 |
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継手 |
呼び径1/2~1インチに各種対応可 |
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測定環境 |
変換器 |
10~40℃ |
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発信器 |
5~45℃ |
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測定液温度 |
0~50℃ |
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耐圧 |
0.3MPa |
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流量 |
5l/min以下 |