多成分浓度计 FUD-1 Model-53(专用)

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产品型号:FUD-1 Model-53(专用)
 牌:FUJI-US富士工业
公司名称:上海岩濑国际贸易有限公司
  地:上海松江
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产品简介

FUJI-US富士工业 多成分浓度计 FUD-1 Model-53
该型号保留了 FUD-1 Model-53 的优点,如易于维护和高精度在线测量,并采用了紧凑型单元式发射器,适用于半导体制造工艺。

产品详细信息

多组分密度计的特点
可提供实时双组分密度计和三组分密度计
标配模拟 4-20 mA DC(2 个系统)和数字 RS232C。
标配测量误差输出和报警输出。
标配自诊断功能和错误信息显示。
小巧轻便的单元式变送器可直接安装在生产线上。
PFA 润湿部件材料,低输出设计,不受化学品影响。
应用。
CMP 工艺中的 CMP 浆料和氧化剂浓度控制等。
清洗过程中的清洗液浓度控制(HF+HNO3、HF+H2SiF6 等)
蚀刻工艺中的蚀刻液浓度控制(TMAH + 抗蚀剂、TMAH + Si 等)

型式

FUD-1 Model-53

 

 変換器

测量参数

超音波伝播速度・温度・導電率

表示

LCD(濃度1・濃度2・温度・音速・導電率/各種パラメータ)

出力信号

模拟 4-20 mA DC2 个系统(可自由设置浓度值)

数字 RS232C(浓度 1、浓度 2、声速、温度、电导率、错误代码)

报警 上下限 测量误差:2 个系统

電源

AC100V240V 50/60Hz両用 30VA (DC24Vも使用可能)

構造

 面板安装型(DIN規格準拠)

環境温度  変換器

050℃

 

RH85%以下(結露ないこと)

機能

输出范围设置功能、警报输出设置功能、浓度显示移动平均值功能、浓度显示偏移和增益设置功能、自诊断功能、故障**功能、异常值取消功能、温度时间常数补偿

选件

温度出力(DC420A)
RS485出力(RS232Cとの同時出力不可)

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