多成分浓度计 FUD-1 Model-53(专用)
产品简介
FUJI-US富士工业 多成分浓度计 FUD-1 Model-53 该型号保留了 FUD-1 Model-53 的优点,如易于维护和高精度在线测量,并采用了紧凑型单元式发射器,适用于半导体制造工艺。
产品详细信息
多组分密度计的特点
可提供实时双组分密度计和三组分密度计
标配模拟 4-20 mA DC(2 个系统)和数字 RS232C。
标配测量误差输出和报警输出。
标配自诊断功能和错误信息显示。
小巧轻便的单元式变送器可直接安装在生产线上。
PFA 润湿部件材料,低输出设计,不受化学品影响。
应用。
CMP 工艺中的 CMP 浆料和氧化剂浓度控制等。
清洗过程中的清洗液浓度控制(HF+HNO3、HF+H2SiF6 等)
蚀刻工艺中的蚀刻液浓度控制(TMAH + 抗蚀剂、TMAH + Si 等)
型式 |
FUD-1 Model-53 |
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変換器 |
测量参数 |
超音波伝播速度・温度・導電率 |
表示 |
LCD(濃度1・濃度2・温度・音速・導電率/各種パラメータ) |
出力信号 |
模拟 4-20 mA DC:2 个系统(可自由设置浓度值) 数字 RS232C(浓度 1、浓度 2、声速、温度、电导率、错误代码) 报警 上下限 测量误差:2 个系统 |
電源 |
AC100V~240V 50/60Hz両用 30VA (DC24Vも使用可能) |
構造 |
面板安装型(DIN規格準拠) |
環境温度 変換器 |
0~50℃ |
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RH85%以下(結露ないこと) |
機能 |
输出范围设置功能、警报输出设置功能、浓度显示移动平均值功能、浓度显示偏移和增益设置功能、自诊断功能、故障**功能、异常值取消功能、温度时间常数补偿 |
选件 |
温度出力(DC4~20mA) |