多成分浓度计 FUD-1 Model-53（专用）

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产品型号：FUD-1 Model-53（专用）

品牌：FUJI-US富士工业

公司名称：上海岩濑国际贸易有限公司

所在地：上海松江

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产品简介

FUJI-US富士工业 多成分浓度计 FUD-1 Model-53
该型号保留了 FUD-1 Model-53 的优点，如易于维护和高精度在线测量，并采用了紧凑型单元式发射器，适用于半导体制造工艺。

产品详细信息

多组分密度计的特点
可提供实时双组分密度计和三组分密度计
标配模拟 4-20 mA DC（2 个系统）和数字 RS232C。
标配测量误差输出和报警输出。
标配自诊断功能和错误信息显示。
小巧轻便的单元式变送器可直接安装在生产线上。
PFA 润湿部件材料，低输出设计，不受化学品影响。
应用。
CMP 工艺中的 CMP 浆料和氧化剂浓度控制等。
清洗过程中的清洗液浓度控制（HF+HNO3、HF+H2SiF6 等）
蚀刻工艺中的蚀刻液浓度控制（TMAH + 抗蚀剂、TMAH + Si 等）

型式	FUD-1 Model-53
	変換器
测量参数	超音波伝播速度・温度・導電率
表示	LCD（濃度1・濃度2・温度・音速・導電率/各種パラメータ）
出力信号	模拟 4-20 mA DC：2 个系统（可自由设置浓度值）数字 RS232C（浓度 1、浓度 2、声速、温度、电导率、错误代码）报警上下限测量误差：2 个系统
電源	AC100V～240V 50/60Hz両用 30VA (DC24Vも使用可能)
構造	面板安装型（DIN規格準拠）
環境温度　　変換器	0～50℃
	RH85%以下（結露ないこと）
機能	输出范围设置功能、警报输出设置功能、浓度显示移动平均值功能、浓度显示偏移和增益设置功能、自诊断功能、故障**功能、异常值取消功能、温度时间常数补偿
选件	温度出力（DC4～20ｍA) RS485出力（RS232Cとの同時出力不可）