单成分浓度计 FUD-1 Model-13(专用)
产品简介
FUJI-US富士工业 粘度测量仪 FUV-1 Model-104 该型号采用紧凑型单元式变送器,适用于半导体制造工艺,同时保留了 FUD-1 Model-13 的优点,如易于维护和高精度在线测量。
产品详细信息
单组分密度计的特点
可进行实时浓度测量,易于构建浓度控制系统。
标配模拟 4-20 mA DC 和数字 RS232C。
标配测量误差输出和报警输出。
标配自诊断功能和错误信息显示。
单元式变送器结构紧凑、重量轻,可直接安装在生产线上。
PFA 润湿部件材料,低输出设计,不受化学品影响。
应用
CMP 工艺中的 CMP 浆料或氧化剂浓度控制等。
稀释过程中各种化学品(H2O2、TMAH、HNO3、H2SO4、HCl 等)的浓度控制
清洗过程中的清洗液浓度控制等(HF、NH4OH、KOH、IPA 等)
蚀刻过程中的蚀刻液浓度控制等(HF、H2SO4 等)
形式 |
FUD-1 Model-13 |
测量参数 |
超音波伝播速度・温度 |
表示 |
LCD(浓度、温度、声速/各种参数) |
出力信号 |
模拟 4-20 mA DC(可自由设置浓度值) 数字 RS232C(浓度、温度、声速、错误代码) 报警 上下限 测量误差 |
電源 |
AC100V~240V 50/60Hz (DC24Vも使用可能) |
構造 |
面板安装型(符合 DIN 标准)、面板安装型(可选配防雨外壳) |
環境温度 |
0~50℃ RH85%以下(結露ないこと) |
機能 |
输出范围设置、报警输出设置、浓度显示移动平均值、浓度显示偏移和增益设置功能、自诊断功能、故障**功能、异常值消除功能 |
选项 |
温度出力(DC4~20mA) |
通道 |
*大10ch |
適合発信器 |
Model-13:SA-20S26/SA-20S27/SA-20M5 |