单成分浓度计 FUD-1 Model-13(专用)

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产品型号:FUD-1 Model-13(专用)
 牌:FUJI-US富士工业
公司名称:上海岩濑国际贸易有限公司
  地:上海松江
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产品简介

FUJI-US富士工业 粘度测量仪 FUV-1 Model-104
该型号采用紧凑型单元式变送器,适用于半导体制造工艺,同时保留了 FUD-1 Model-13 的优点,如易于维护和高精度在线测量。

产品详细信息

单组分密度计的特点
可进行实时浓度测量,易于构建浓度控制系统。
标配模拟 4-20 mA DC 和数字 RS232C。
标配测量误差输出和报警输出。
标配自诊断功能和错误信息显示。
单元式变送器结构紧凑、重量轻,可直接安装在生产线上。
PFA 润湿部件材料,低输出设计,不受化学品影响。
应用
CMP 工艺中的 CMP 浆料或氧化剂浓度控制等。
稀释过程中各种化学品(H2O2、TMAH、HNO3、H2SO4、HCl 等)的浓度控制
清洗过程中的清洗液浓度控制等(HF、NH4OH、KOH、IPA 等)
蚀刻过程中的蚀刻液浓度控制等(HF、H2SO4 等)

形式

FUD-1 Model-13

测量参数

超音波伝播速度・温度

表示

LCD(浓度、温度、声速/各种参数)

出力信号

模拟 4-20 mA DC(可自由设置浓度值)

数字 RS232C(浓度、温度、声速、错误代码)

报警 上下限 测量误差

電源

AC100V240V 50/60Hz (DC24Vも使用可能)

構造

面板安装型(符合 DIN 标准)、面板安装型(可选配防雨外壳)

環境温度

050℃ RH85%以下(結露ないこと)
0100℃ 特別仕様 -10160℃100℃幅)

機能

输出范围设置、报警输出设置、浓度显示移动平均值、浓度显示偏移和增益设置功能、自诊断功能、故障**功能、异常值消除功能
RS485出力(RS232Cとの同時出力不可)

选项

温度出力(DC420mA

通道

*大10ch

適合発信器

Model-13SA-20S26SA-20S27SA-20M5

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