半导体压力调整器 STⅤ30-3WE-30X03G-4UB4UB-T

半导体压力调整器 STⅤ30-3WE-30X03G-4UB4UB-T TANAKA日酸

特点

S-TORR 调压器是在 TORR 调压器的基础上开发的用于超高纯度气体的调压器，在半导体工艺气体管线中备受信赖。
该产品取消了气体接触部分的螺纹结构，并将电解抛光作为标准配置，从而实现了极高的水分置换特性和颗粒减少特性。
阀体和联轴器之间采用焊接连接，隔膜部分的外部密封采用金属密封结构。
高外部密封性能确保了即使是高纯度气体也能**使用。
主气室的流道中装有过滤器，以减少内部泄漏的发生。
所有设备均经过出厂检查，包括 He 泄漏测试。
ST V 30 系列作为标准型号被广泛用于初级低压应用，如低压管道和出口面板充气压力较低的压缩气瓶柜。
对于腐蚀性气体，SH 系列的主要气体接触金属部件采用高耐腐蚀性的镍铬钼合金。

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