半导体压力调整器 S-TORRV02

半导体压力调整器 S-TORRV02 TANAKA日酸

特点

S-TORR 调压器是在 TORR 调压器的基础上开发的用于超高纯度气体的调压器，在半导体工艺气体管线中备受信赖。
由于取消了气体接触区的螺纹结构，并按标准对调压器进行了电解抛光，因此实现了极高的湿气置换特性和颗粒减少效果。
阀体和联轴器之间采用焊接连接，膜片部分的外部密封采用金属密封结构。
高外部密封性能确保了即使在特别纯净的气体中也能**使用。
所有设备都经过出厂检验，包括 He-leak 测试。
ST V02 系列调压器结构非常紧凑，阀体直径 Ø35，标准端面间距为 70.5 mm。
可设计小型出口面板。 适合集成到设备中。
对于腐蚀性气体，SH 系列与气体接触的主要金属部件采用高耐腐蚀性的 Ni-Cr-Mo 合金。

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