高温磷酸浓度计 CS-620F
产品简介
HORIBA堀场 高温磷酸浓度计 CS-620F 在 3D NAND 制程中,沉积几十层二氧化硅和氮化硅,并使用高温磷酸选择性地刻蚀氮化硅层。 在该制程中,通过控制化学药液的浓度和温度,可以获得期望的刻蚀速率。 成熟型号很难测量高温化学药液,但 CS-620F 能够在高达 170℃ 的高温下进行测量。 使用吸收光谱进行连续测量,与其他方法相比,需要的维护和耗材更少。
产品详细信息
HORIBA堀场 高温磷酸浓度计 CS-620F
主要特征
可测量高达 92% 的高浓度磷酸
无需冷却机制和冷却时间。
无需冷却循环管路中的高温磷酸(140 至 170℃),可直接测量。
样品使用PFA接触,以降低污染风险。
采用每半年一次的背景校正周期,有助于显著减少机台停机时间。
每3秒更新一次测量数据,有助于更快速使用浓度反馈进行控制
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