高温磷酸浓度计 CS-620F

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产品型号:CS-620F
 牌:HORIBA堀场
公司名称:上海岩濑国际贸易有限公司
  地:上海松江
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产品简介

HORIBA堀场  高温磷酸浓度计 CS-620F
在 3D NAND 制程中,沉积几十层二氧化硅和氮化硅,并使用高温磷酸选择性地刻蚀氮化硅层。
在该制程中,通过控制化学药液的浓度和温度,可以获得期望的刻蚀速率。
成熟型号很难测量高温化学药液,但 CS-620F 能够在高达 170℃ 的高温下进行测量。
使用吸收光谱进行连续测量,与其他方法相比,需要的维护和耗材更少。

产品详细信息

HORIBA堀场 高温磷酸浓度计 CS-620F

主要特征
可测量高达 92% 的高浓度磷酸
无需冷却机制和冷却时间。
无需冷却循环管路中的高温磷酸(140 至 170℃),可直接测量。
样品使用PFA接触,以降低污染风险。
采用每半年一次的背景校正周期,有助于显著减少机台停机时间。
每3秒更新一次测量数据,有助于更快速使用浓度反馈进行控制



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