化学药液浓度计 CS-151F1

HORIBA堀场 化学药液浓度计CS-151F1

特点

使用在线样品单元实时跟进浓度信息
使用直接连接清洗系统主管路的在线样品单元实时检测浓度。
多达四种药液的多重检测
每台浓度计可测量多达四种化学药液或浓度范围。用户可单次检测多种化学药液的浓度（或不同配比的化学药液），如单槽或单晶圆清洗系统。
更高精度的样品单元类型
为保证稳定性，还提供一种样品单元类型，支持使用浓度计输出信号反馈进行控制。该浓度计还支持将化学药液浓度保持在可接受的范围内，并消除不必要的化学药液变化。
电气单元和测量单元完全分离，**安装
符合 RoHS 标准

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