晶圆扩张器 OEX-FD系列

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产品型号：OEX-FD系列

品牌：OKK大宫工业

公司名称：上海岩濑国际贸易有限公司

所在地：上海松江

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产品简介

OKK大宫工业 晶圆扩张器 OEX-FD系列
面朝下的膨胀和来自平台底部的强制抽吸限制了破碎过程中产生的硅颗粒的附着。
与传统方法相比，这种方法提高了产量，减少了工序。
此外，使用电机驱动可以在低速和低冲程的情况下实现**分区，这使其在加工 MEMS 等易碎工件时更具优势。

产品详细信息

OKK大宫工业晶圆扩张器 OEX-FD系列

特点

完全干燥工艺
晶圆正面朝下，在破碎过程中产生的硅废料被强行吸出，从而*大限度地减少与工件的粘连。
无法进行湿法清洁的 MEMS、CMOS 和其他晶片也可以进行完全干法处理。
**的条件设置
电机驱动系统可实现**的条件设置。扩展行程和扩展速度等条件可通过触摸屏轻松操作。即使是易碎的工件，也能无损伤地进行高质量切割。
全自动支持
还支持安装了装载机和卸载机的全自动操作。
消除了传统手动操作造成的不平整。
自动切割功能
自动切割功能可节省人力并确保切割的均匀性。
可从低冲程到高冲程进行切割。

８inchタイプ

12inchタイプ

装置寸法	W700 × D1250 × H1470(㎜) ※不包括信号塔和其他突出部分	W820 × D1800 × H1680(㎜) ※不包括信号塔和其他突出部分
装置重量	約250kg	約500kg
拡張量	7mm ～ 50mm / 停止精度±0.1mm	8mm ～ 50mm / 停止精度±0.1mm
昇降速度	0.1 ～ 20mm/sec 0.1 mm/s単位での調整可能	0.1 ～ 100mm/sec 0.1 mm/s単位での調整可能
温度調整	室温～ 80°C
支持的尺寸	8inch切割框	12inchダ切割框
空气	0.4 ～ 0.5Mpa 10L/min φ8一触式接头
電源	AC100V 50/60Hz 10A	AC200V 50/60Hz 30A

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岩濑商事株式会社-小型设备：ANLET安耐特、Fristam弗利森、SHOWADENKI昭和电机、ONIKAZE赤松、ETOH江藤、USUTANI臼谷电子、JTRKT捷太格特-原CNK磁分机、IRI软水机、USHIO牛尾、SONIC索尼克、IKURATOOLS育良精机、TROAY东丽、ORGANO奥加诺、NAC油水分离器、KOTOHIRA琴平工业

岩濑商事株式会社-化学点胶及备品部件:SHINETSU信越化学、THREEBOND三键、TOAGOSEI东亚合成、三井化学MITSUI、LUBETECH日本工作油、klueber克鲁勃、EFD诺信、TOYOX东洋克斯、日本化学CHEMIS、KONSEI近藤、COSMOS新宇宙、HIMU静音消除器、SONOTEC松泰克、MIRAI未来工业、MicroStone微石

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