UV辐照装置 FBUV系列
产品简介
OKK大宫工业 UV辐照装置 FBUV系列 带黑光规格的全自动紫外线辐照装置可自动取出由晶圆盒提供的晶圆框、 紫外线照射和储存。 切割后,紫外线照射可降低胶带的粘合强度,使其更容易拾取。 通过自动切换,该设备可处理 8 英寸和 12 英寸晶片框。
产品详细信息
OKK大宫工业 UV辐照装置 FBUV系列
特点
可在盒式装置中进行全自动辐照。
旋转转盘可实现均匀一致的紫外线照射。
多种紫外线照射条件(时间设置或综合光强设置)。
触摸屏上实时显示紫外线照度。
黑光规格,功耗低。
兼容 8 英寸/12 英寸盒式磁带。 (可在触摸屏上自动更改设置)。
寸法 | W770 × D1090 × H1200(㎜) | |
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重量 | 約 250 kg | |
驱动空气 | 0.4~0.5Mpa 65L/min | |
UV照度 | 9mW/cm²以上 | |
N₂ | 0.4~0.5Mpa 100L/min | |
電源 | AC100V 50/60Hz 30A |
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