UV辐照装置 FHUV系列

OKK大宫工业 UV辐照装置 FHUV系列

特点
机身小巧
10 种不同的配方设置（速度根据设置可变）
触摸面板上有 4 种不同的功率设置
显示总辐照量和紫外线辐照强度（仅在辐照时显示）
可根据辐照目标选择高压汞灯/金属卤化物灯。
配备自动切换功能，可自动切换到不同尺寸。
不仅可以辐照切割框，还可以辐照夹持环。
可检测紫外线辐照是否完成。
触摸面板
用途
LSI 晶圆、存储器晶圆、LED 晶圆、激光晶圆、传感器晶圆、功率器件晶圆及其他各种工艺。

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