载体清洗机 OKH-MR系列
产品简介
OKK大宫工业 载体清洗机 OKH-MR系列 载体清洗机是用于晶片载体和载体盒的清洗和干燥系统。 它们使用高压水流进行清洗,并利用离心力和清洁空气(或 N₂)进行干燥。
产品详细信息
OKK大宫工业 载体清洗机 OKH-MR系列
特点
清洁效果更佳!
通过同时喷射加压气体和细颗粒纯水,间歇和连续地喷射出高射流压力液滴,清洁效果优于高压喷射。
提高干燥效率!
高速旋转的离心力分散工件表面的水滴,同时通过过滤器的清洁空气干燥工件。
(也可达到 N₂ 规格)此外,离心力无法分散的水滴可通过特殊喷嘴吹出的加压空气进行后续处理,以干燥难以干燥的区域,从而实现更高的干燥效率。
清洁
考虑到运行成本的环保规格
雾化颗粒非常细,纯水流量减少到传统型号的 1/3。
环保型设计在考虑设备价格的同时也考虑了运行成本。
规格
支持的工件 |
载体 × 2 个托架 载体BOX × 2托架 |
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装置寸法 | 6inch载体用 W950×D1340×H1200(H2020 盖子打开时)(mm) |
材 質 | [本体外装]PVC TSP-333(Ivory) [转子]SUS304 電解研磨処理 |
转速 | 15min / 回 ※根据载体形状而变化 |
回転数 | 10~600min-¹ 6速設定可能 |
计时器设置 | 0 ~ 999 sec |
设定 | 10種類 |
電 源 | AC200V±10% 50/60Hz 30A |
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驱动空气 | 圧力:0.5MPa以上 消費量:30L/min(ANR) |
干燥空气 | 清洁空气 圧力:0.3MPa以上 消費量:450L/min(ANR) |
純 水 | 圧力:0.2Mpa以上 純水消費量:12L/min |
排気口 | VP50 1箇所(从腔室排出) (排気量 8M3/min) |
排水口 | VP40 1箇所(从腔室排出) |
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