晶片传输机 OTD系列

OKK大宫工业 OTD系列 晶片传输机

特点

防止颗粒产生
电机驱动，防止颗粒产生。
独特的晶片卡盘结构
我们独特的晶片卡盘结构可抑制晶片传送过程中的晃动，确保可靠地将晶片传送到石英舟上，即使是重型晶片（如复合晶片）也能准确**地传送。

型式	OTS-15 (自立型)	OTD-25 (卓上型)	OTD-35 (卓上型)
台式级数	Ⅰ级（1卡带）	第Ⅱ级（1 卡带、1 艘）	Ⅲ级（卡带 x 2，船式 x 1）
驱动系统	电机驱动（伺服）
传送类型	1ca　不同卡带之间的传送	1ca to 1bt 双方向移載	2ca to 1bt 双方向移載
传输速度	Min40秒 ＋ 盒式磁带交换时间	Min50秒（調整可）	Min90秒（調整可）
装置寸法	W400×D510×H1187(㎜)	W433×D490×H625(㎜)	W629×D490×H625(㎜)
**機構	盒式磁带存在、晶片存在、过载检测、异常警报、紧急停止
電源	AC200V（50/60Hz）

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