无锡ULVAC爱发科螺杆式干式真空泵 LS600A
产品简介
ULVAC的产品包括产生真空的“真空泵”、测量真空(压力)的“真空计”、测量真空中气体类型的“过程气体监视器”以及识别泄漏点并检查泄漏量的“泄漏检测器”。我们开发并提供各种真空技术所需的真空设备和部件,包括“薄膜沉积设备电源”和“真空阀”等部件。LS600A
产品详细信息
VD30C / VD40C / VD60C / VD90C/
日本ULVAC螺杆式干式真空泵
爱发科MS120A / MS600A / MS1200A
日本ULVAC爱发科 油回转真空泵
VS系列 ULVAC超真空
VS300A-W
日本ULVAC爱发科超真空泵
油回转真空泵 VS1501/ VS2401
日本ULVAC爱发科
旋片式(单级)油回转真空泵
VS650B-A / VS650B-W / VS650B-WL *1 / VS750B-A / VS750B-W
ULVAC爱发科可选配件
真空干燥器 VDE-3
爱发科ULVAC涡旋式干式真空泵DIS/DISL系列
DIS-252/DISL-252
爱发科ULVAC油回转真空泵
PVD系列
皮带驱动低速旋转泵具有安静、稳定的泵送特性
PVD-180(B) / PVD-360(B)
爱发科ULVAC
多级罗茨干式真空泵
HR/UR系列 UR421-T / UR600 / UR1200 / UR1800 / UR3601-TT/
UR421-T / UR90/ UR90 / UR180 / UR421-T
爱发科ULVAC多级罗茨干式真空泵
GR系列
GR60A GR90A GR180A
代 理日本各类工业品:SAN-EI三英(点胶阀),MUSASHI武藏点胶机(点胶机),UNIX优尼(焊锡机),Nordson诺信EFD(点胶机),IEI岩下(点胶机),aicohsha爱工舍ACM(立式搅拌机),日本KURABO仓纺脱泡机,日本THINKY日新基脱泡机,KLEENTEK可滤特(静电净油机),ASAHIKASEI旭化成(工业泵),TAGAWA十川(软管),YODOGAWA淀川(集尘机),MALCOM马康(锡膏粘度计),USHIO牛尾(点光源),SHOWA昭和电机(鼓风机),TSUBAKI椿本链条,KIKUSUI菊水(电源),CEDAR思达(扭力测试仪),MEISEI迈泽(电热剥线器)、SANKO山高(膜厚仪)、TAKASAGO高砂制作所(直流电源)、CCS光源(光源)、Tsubosaka壶坂(辉度箱)、POLARION普拉瑞(探照灯)AITEC艾泰克(检查光源)、Iwasaki岩崎(金卤灯)、OTSUKA大塚电子(光学膜厚仪)、KOSAKA小坂(台阶仪)、HORIBA堀场仪器(分析仪)、cosmo科斯莫(气体测试仪)、SIBATA柴田科学(环境测定)、TORAY东丽浓度仪(氧气分析仪)、RION理音(测振仪)、HOKUTO DENKO北斗电工、SANYOSEIKO山阳精工、日本IMV爱睦威地震仪、TML东京测器、TOE东京光电子、SIGMAKOKI西格玛光机、FLOWELL 福威、ASAHI旭有机材、LUCEO鲁西欧(偏光应力仪)、KYOWA共和(应变片)、ONOSOKKI小野(传感器)、FUJIKURA藤仓(单向阀)TOKISANGYO东机产业(粘度计)、SK新泻精机(水平测量尺)SKSATO佐藤(温度记录仪)、TECLOCK得乐(硬度计)、AND爱安得(电子天平)、KEM京都电子(水分仪)、TOHNICHI东日(扭力扳手)、Heishin兵神(定子)、TOKKYOKIKI特许机器(抗震台)、ULVAC爱发科泵、IWAKI易威奇(泵)、kashiyama柏山(干式泵)、MARUYAMA丸山(泵)、AMAYA天谷制作所(半导体晶圆设备)、YUASA汤浅(弯折试验机)、SIMCO思美高(离子棒),SSD西西蒂(离子风扇),DIT东日技研(防静电),KASUGA春日(离子棒),TRINC高柳(静电仪器设备)、Kanetec强 力(高斯计)、SAKURAI樱井(无尘纸)、Nitto-Kohki日东工器(快速接头)、NIRECO尼利可(传感器)、TOFCO东富科(流量计)、eoptics颐光科技(反射膜厚仪)、Filmetrics优尼康(膜厚测量仪)、TOKYO KEISO东京计装(超声波液位计)、RKC理化工业(数显控制器)、YAMATO雅玛拓(恒温箱)YAMADA雅玛达(隔膜泵)、KOFLOC小岛(浮子流量计)、KITZ开滋(阀门)、CKD喜开***缸)、AMANO安满能(集尘机)、NYS西村化工(半导体)
特征
- 接近大气压的抽速可达80m3 / h,抽气时间比传统真空泵可减少20%左右。
- 标准安装的专用消音器消除了干式真空泵特有的噪音问题。极限压力下的噪音值低于 61 dB(A),在操作过程中不会对您造成干扰。(*1)
- ECO-SHOCK 技术是 C 规范的标准,是 ULVAC 的专有节能技术。极限压力下的功耗可降低至0.6kW以下。(*2)
- LS系列不需要轴封气体。主要排放氮气和空气的清洁工艺可以降低运行成本。(*3)
- 对于那些希望进一步提高抽速的人,我们建议将其与机械增压泵结合使用。通过组合它们,可以达到120至1200m 3 /h。
(*1) LS120A-C 时
(*2) C 规格时
(*3) L 规格时,也可流通吹扫气体
目的
C 规格: 洁净工艺 (LS***AC)
特点 : 内置 ECO-SHOCK 的低功耗型
用途 : 排气、N 2排气等洁净排气、溅射 / 蒸镀 / 层压 / 负载锁定室 / TMP 援助 此类
L 规格:轻工艺(LS***AL)
特点:具有表面处理和吹扫功能的轻工艺类型
应用:用于轻工艺,如蒸汽和挥发性化学废气、真空干燥/冷冻干燥/灰化/一般工业应用等。
规格
模型 |
(C:C规格) |
LS120A | LS300A | LS600A | LS1200A | |||||
C | L | C | L | C | L | C | L | |||
*大抽速 | 立方米/小时 | 120 | 380 | 600 | 1000 | |||||
极限压力 | 帕 | ≤0.6 | ≤0.1 | |||||||
动力压力 | 200V级:三相,50/60Hz,AC200-240V或400V级:三相,50/60Hz,AC380-480V | |||||||||
功耗值*1 | 千瓦 | 0.6 | 2.0 | 1.0 | 2.5 | 1.3 | 2.6 | 1.3 | 2.7 | |
冷却水量 | 升/分钟 | >2.0 | >4.0 | |||||||
驳船气量*2 | 可持续发展管理 | - | 0-50 | - | 0-50 | - | 0-50 | - | 0-50 | |
用于*大程度的水蒸气处理*3 | 公斤/小时 | - | 1.5 | - | 1.5 | - | 1.5 | - | 1.5 | |
噪音值 | 分贝(A) | 61 | 61 | 62 | 64 | |||||
进气口 | KF(卧式)/VG50(立式) | ISO-F-50 | ISO-F-80 | ISO-F-100 | ||||||
排气口 | KF40 | |||||||||
大量的 | 公斤 | 142 | 220 | 第242章 | 266 | |||||
兼容标准 | CE、cTUVus | |||||||||
标准配件 | 使用说明书(CD-R)、电源连接器、防水线夹、信号连接器、电源连接器护罩 | |||||||||
车身选项 | 电压规格:200V级或400V级,密封材料:全氟橡胶(**L型) | |||||||||
外部选项 | MBP进气口转换法兰、外壳排气口、抗震固定支架、LR兼容单元(进气口、信号)、吹扫气阀 |
*1 在极限压力下
*2 C 规格不能输送驳船气体。
*3 使用驳船气体时的*大水蒸气处理量。
*4 C 规格并非无泄漏。
排气速度曲线
|
|
|
|
尺寸图