发生器 70110型

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产品型号:70110型
 牌:KAIJO楷捷
公司名称:上海岩濑国际贸易有限公司
  地:上海松江
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产品简介

KAIJO楷捷_兆声波发生器_70110型
高周波超音波洗浄機
メガソニック洗浄(ハイメガソニック)
750kHz/950kHz
Siウェーハ、GaAs等の洗浄 液晶ガラスの洗浄 ガラスマスクの洗浄
ハードディスクの洗浄 水晶振動子の洗浄 薄膜磁気ヘッドの洗浄
脆性材料等の洗浄 その他超精密洗浄
◆半導体や液晶などに要求される45nm以下の超微粒子をハイメガが除去
■特徴

メガソニック洗浄は超精密洗浄に威力を発揮する高周波洗浄機です。
半導体ウエハーや、液晶、HDDなどの超微粒子の除去にお使いいただいております。

产品详细信息

KAIJO楷捷_兆声波发生器_70110型

高周波超音波洗浄機
メガソニック洗浄(ハイメガソニック)
750kHz/950kHz
Siウェーハ、GaAs等の洗浄 液晶ガラスの洗浄 ガラスマスクの洗浄
ハードディスクの洗浄 水晶振動子の洗浄 薄膜磁気ヘッドの洗浄
脆性材料等の洗浄 その他超精密洗浄
◆半導体や液晶などに要求される45nm以下の超微粒子をハイメガが除去
■特徴

メガソニック洗浄は超精密洗浄に威力を発揮する高周波洗浄機です。
半導体ウエハーや、液晶、HDDなどの超微粒子の除去にお使いいただいております。


高周波(750kHz、950kHz)のメガソニック洗浄は主に加速度で洗浄を行います。
このため、キャビテーションが殆ど発生しません。キャビテーションによるエロジョン(ダメージ)や定在波による洗浄ムラの解決に有効です。

■発振器特徴

●0.1Wパワー設定可能。高い電力安定性を実現。
ダメージレス洗浄対応の精密出力コントロールが容易に!
(200kHz以上に対応)
●4種類の特殊発振モード選択により、従来以上の高精度に精密洗浄が可能
●立上げ時・立下げ時のスピードを設定可能
●QUAVAシリーズはハイメガソニックシリーズとの互換性があり
発振器の入替で洗浄性能UPが可能。
●旧ハイメガ78101型に比べ81%に小型化、重さも17kgと軽量化!
●サイズは19インチラックに収納できる 規格化されたサイズ
●振動子交換時の調整は原則不要(マッチングレス)
●用力はフリー電源方式のため、工場の電源電圧変動などに左右されません
●10種類の周波数に対応しているので、後から振動子を交換することで、
周波数の変更が可能。
対応周波数:26kHz/38kHz/78kHz/100kHz/130kHz/
160kHz/200kHz/430kHz/750kHz/950kHz
■発振器スペック

項目

仕様

定格出力

1200W ※

発振周波数

26kHz/38kHz/78kHz/100kHz/130kHz/160kHz/200kHz/430kHz/750kHz/950kHz
(振動子の選択で変更)

発振モード

PLL発振/固定発振/Aモード発振/Bモード発振

電源

電流

10A

電圧

AC200V~AC240V(±10% 1Φ 50/60Hz)

外形寸法

430(W) ×418(D) ×148(H)

重量

17Kg

主な機能

リモートモード

8段階出力

RS485通信

異常出力端子

アナログ出力(出力のモニタリング)
0-5V(標準設定) or 4-20mA(出荷時切替可能)

 

仕様

ウェーハ6
振動板仕様

ウェーハ8
振動板仕様

ウェーハ12
振動板仕様

型名

7857S型

8857S型

98SL型

許容入力

300Wx4

300Wx6

300Wx16

周波数

950kHz

950kHz

750kHz

振動輻射面(mm)

136x163

165x215

275x319

振動板材質

SU316L

SU316L

SU316L

振動体

PZT

PZT

PZT

*高使用温度

70℃

70℃

70℃

外形寸法
(WxDxHmm)

185x215x55

255x305x55

410x340x65

取付方法

ボルト固定

ボルト固定

ボルト固定



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