发生器 70110型
产品简介
KAIJO楷捷_兆声波发生器_70110型 高周波超音波洗浄機 メガソニック洗浄(ハイメガソニック) 750kHz/950kHz Siウェーハ、GaAs等の洗浄 液晶ガラスの洗浄 ガラスマスクの洗浄 ハードディスクの洗浄 水晶振動子の洗浄 薄膜磁気ヘッドの洗浄 脆性材料等の洗浄 その他超精密洗浄 ◆半導体や液晶などに要求される45nm以下の超微粒子をハイメガが除去 ■特徴 メガソニック洗浄は超精密洗浄に威力を発揮する高周波洗浄機です。 半導体ウエハーや、液晶、HDDなどの超微粒子の除去にお使いいただいております。
产品详细信息
KAIJO楷捷_兆声波发生器_70110型
高周波超音波洗浄機
メガソニック洗浄(ハイメガソニック)
750kHz/950kHz
Siウェーハ、GaAs等の洗浄 液晶ガラスの洗浄 ガラスマスクの洗浄
ハードディスクの洗浄 水晶振動子の洗浄 薄膜磁気ヘッドの洗浄
脆性材料等の洗浄 その他超精密洗浄
◆半導体や液晶などに要求される45nm以下の超微粒子をハイメガが除去
■特徴
メガソニック洗浄は超精密洗浄に威力を発揮する高周波洗浄機です。
半導体ウエハーや、液晶、HDDなどの超微粒子の除去にお使いいただいております。
高周波(750kHz、950kHz)のメガソニック洗浄は主に加速度で洗浄を行います。
このため、キャビテーションが殆ど発生しません。キャビテーションによるエロジョン(ダメージ)や定在波による洗浄ムラの解決に有効です。
■発振器特徴
●0.1Wパワー設定可能。高い電力安定性を実現。
ダメージレス洗浄対応の精密出力コントロールが容易に!
(200kHz以上に対応)
●4種類の特殊発振モード選択により、従来以上の高精度に精密洗浄が可能
●立上げ時・立下げ時のスピードを設定可能
●QUAVAシリーズはハイメガソニックシリーズとの互換性があり
発振器の入替で洗浄性能UPが可能。
●旧ハイメガ78101型に比べ81%に小型化、重さも17kgと軽量化!
●サイズは19インチラックに収納できる 規格化されたサイズ
●振動子交換時の調整は原則不要(マッチングレス)
●用力はフリー電源方式のため、工場の電源電圧変動などに左右されません
●10種類の周波数に対応しているので、後から振動子を交換することで、
周波数の変更が可能。
対応周波数:26kHz/38kHz/78kHz/100kHz/130kHz/
160kHz/200kHz/430kHz/750kHz/950kHz
■発振器スペック
項目 |
仕様 |
|
定格出力 |
1200W ※ |
|
発振周波数 |
26kHz/38kHz/78kHz/100kHz/130kHz/160kHz/200kHz/430kHz/750kHz/950kHz |
|
発振モード |
PLL発振/固定発振/Aモード発振/Bモード発振 |
|
電源 |
電流 |
10A |
電圧 |
AC200V~AC240V(±10% 1Φ 50/60Hz) |
|
外形寸法 |
430(W) ×418(D) ×148(H) |
|
重量 |
17Kg |
|
主な機能 |
リモートモード |
|
8段階出力 |
||
RS485通信 |
||
異常出力端子 |
||
アナログ出力(出力のモニタリング) |
仕様 |
ウェーハ6 |
ウェーハ8 |
ウェーハ12 |
型名 |
7857S型 |
8857S型 |
98SL型 |
許容入力 |
300Wx4 |
300Wx6 |
300Wx16 |
周波数 |
950kHz |
950kHz |
750kHz |
振動輻射面(mm) |
136x163 |
165x215 |
275x319 |
振動板材質 |
SU316L |
SU316L |
SU316L |
振動体 |
PZT |
PZT |
PZT |
*高使用温度 |
70℃ |
70℃ |
70℃ |
外形寸法 |
185x215x55 |
255x305x55 |
410x340x65 |
取付方法 |
ボルト固定 |
ボルト固定 |
ボルト固定 |