半导体设备 LCM1010
产品简介
towajapanTOWA株式会社_半导体设备_LCM1010
产品详细信息
towajapanTOWA株式会社_半导体设备_LCM1010
TOWA独自的压缩轮缘造型方式采用高亮度LED轮缘造型*适合。根据精密部的模块化生产量的变化也可以灵活对应。
大型基板150毫米×150毫米（6 inch×6 inch）对应可能的。
| 装置サイズ/Machine Size | 2,550～4,470mm(W)×1,400mm(D)×1,700mm(H) |
| 装置重量/Machine Weight | 3.6ton～9.0ton |
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