红外显微热像系统
产品简介
红外显微热像系统:定量评估各种封装模式下的温差及温度均匀性。20°~+100°C / 0°~+350°C (可自行切换) 能够测量并显示电子器件或电路板的表面温度分布,为客户提供了一种快速探测热点和热梯度的有效手段。检测微尺度半导体电路的热问题和MEMS器件的热问题,可以有效地检测微尺度半导体电路的热问题和MEMS器件的热问题。
产品详细信息
红外显微热像系统:定量评估各种封装模式下的温差及温度均匀性。20°~+100°C / 0°~+350°C (可自行切换) 能够测量并显示电子器件或电路板的表面温度分布,为客户提供了一种快速探测热点和热梯度的有效手段。检测微尺度半导体电路的热问题和MEMS器件的热问题,可以有效地检测微尺度半导体电路的热问题和MEMS器件的热问题。
本产品可用于半导体IC裸芯片检测、集成电路热点和短路故障查找和分析、封装热阻测量及热设计的优化、MEMS热成像分析、微交换器的热传输效率分析、微反应器的热成像测量、材料的热性能检测、热流体分析和辨别固晶/焊线/点胶缺陷等。
型号
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OTD-60S(开发平台)
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OTD-60C(集成平台)
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测量参数
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探测器类型
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非制冷焦平面,像素:320*240,工作波段:8µm~14µm
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热灵敏度(NETD)
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<0.05℃@30℃
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温度范围
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-20°~+100°C / 0°~+350°C (可自行切换)
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测量精度
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+/- 2 % , +/- 2 °C
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标准镜头(广角镜头)
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视场:25°x18.8° ,焦距:0.4m,空间分辨率:1.36mrad
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显微镜头(定焦镜头)
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分辨率:25µm,视场:8mmx6mm\分辨率:50µm,视场:16mmx12mm\分辨率:100µm,视场:32mmx24mm
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调焦方式
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自动或手动(内置马达)
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测量分析
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热分析软件
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MicroOptics ResearchIR
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帧频选择
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帧频范围:3Hz~60Hz,可采用多种帧频录制/实时显示
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图像模式
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自动模式、*大*小值模式、放大模式、自动放大模式
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测温区域
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测温点、测温矩形、测温圆\椭圆、测温线\折线,均可移动
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温度显示
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*高温、*低温、平均温度、等温线、温度时间曲线、线温分布图等
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红外图像
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等温色设定、多种伪彩显示(彩虹,铁红等)
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热点探测
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根据客户需求定制开发热点探测功能,如显示位置、报警、跟踪等
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失效分析
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根据客户需求定制开发失效分析认定程序,如通过比较缺陷元件与正常元件的热表现,可自动认定缺陷元件所在位置或区域
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温度校正
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发射率校正、距离校正、大气透过率修正、反射温度补偿等
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数据采集
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录像模式:定时触发、手动触发、条件触发,快照图片
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存储格式
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图片格式:jpg、bmp、si等,视频格式:avi、mi、csv等
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辅助功能
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温度报警、日志功能、记录操作等
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辅助平台
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垂直聚焦台(Z向)
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行程:400mm,分辨率:1um
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行程:100mm,分辨率:1um
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水平微动台(XY向)
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尺寸:120mm×120mm、行程:50mm,分辨率:1um
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尺寸:300mm×300mm、行程:100mm,分辨率:1um
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探针台(XYZ向)
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行程:12mm×12mm×12mm,分辨率:2um
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用户:北京大学,南车,38所,苏州晶能,中航重庆微电子等等
联系人 CK 15989565652 15989565652@139.com