IREM-II 红外发射显微镜系统 IREM-II
产品简介
IREM-II 红外发射显微镜系统,世界上*敏捷,横向分辨率*高的InGaAs IREM。IREM-SIL在其前身IREM-II核心技术基础上建造,为亚微米级提供超高清分辨率和成像,是现在及未来发展需要。
产品详细信息
IREM-II 红外发射显微镜系统
世界上*敏捷,横向分辨率*高的InGaAs IREM。IREM-SIL在其前身IREM-II核心技术基础上建造,为亚微米级提供超高清分辨率和成像,是现在及未来发展需要。
IREM-II已成为INTEL 22 nm 制程3D Trigate集成电路失效性分析*重要工具。
分辨率
检测仪/摄像头
专用ULN图像传感器
噪声低,信噪比高
重复性
运动系统
8轴
超低parcentricity错误,**定位(<0.5um可重复性)
可靠
运行时间>全球97%
数据一致
镜头
1.1um -- 1.6um操作
0.3倍微距镜头,1X,10X,25X,100X,LIO,2.8 NA SIL等
*高传输速度及分辨率SIL(<150nm)
AIRIS软件
连接第三方软件,包括CADNav,超过14年产业输入
世界上*敏捷,横向分辨率*高的InGaAs IREM。IREM-SIL在其前身IREM-II核心技术基础上建造,为亚微米级提供超高清分辨率和成像,是现在及未来发展需要。
IREM-II已成为INTEL 22 nm 制程3D Trigate集成电路失效性分析*重要工具。
分辨率
检测仪/摄像头
专用ULN图像传感器
噪声低,信噪比高
重复性
运动系统
8轴
超低parcentricity错误,**定位(<0.5um可重复性)
可靠
运行时间>全球97%
数据一致
镜头
1.1um -- 1.6um操作
0.3倍微距镜头,1X,10X,25X,100X,LIO,2.8 NA SIL等
*高传输速度及分辨率SIL(<150nm)
AIRIS软件
连接第三方软件,包括CADNav,超过14年产业输入