晶圆级前部，背部及l边缘表面涂层 SpinPac ASC 200/300

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产品型号：SpinPac ASC 200/300

品牌：PAC TECH

公司名称：锐驰科技有限公司

所在地：上海徐汇

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产品简介

晶圆级前部，背部及l边缘表面涂层,抗蚀剂或助焊剂涂覆*大兼容12”晶圆片。自由编程预热及*终加热时间。

晶圆级前部，背部及l边缘表面涂层

抗蚀剂或助焊剂涂覆*大兼容12”晶圆片

产品规格

晶圆厚度：0.1至1mm
全自动处理系统
晶圆尺寸：6-8或12英寸
无需工具成本
批量生产&打样
不锈钢机身
自由编程预热及*终加热时间
0-200度随意调节
预对准器用于晶圆处理
边缘涂层
自动处理晶圆，每小时多达50个
SEMI符合HMI
排气系统排出废气
占地面积小
工艺记录

SpinPac ASC 200

SEM符合HMI SpinPac ASC 200

表面热电偶

工业压力开关

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产品标签

晶圆

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